▲ 강화 플라즈마 FFKM, Chemraz® 663

그린 트위드(Greene Tweed)가 저온 에치(Etch) 및 증착(deposition) 애플리케이션에 견딜 수 있게 설계된 압축 성형 퍼플루오롤라스토머(Perfluoroelastomer, FFKM) 신제품 'Chemraz® 663'를 출시한다고 밝혔다.

FFKM은 정전 척(ESC) 어셈블리와 같이 플라즈마 내성 및 진공 상태에서의 밀봉력 유지가 매우 중요하다. 저온 작동 수용능력(최하 -40°C/-40°F)과 고순도(20,000 ppb 미만의 미량 금속 함량)를 특징으로 하는 Chemraz® 663은 ESC 애플리케이션과 저온 진공 환경에서 이상적이다.

그린 트위드 반도체 생산 매니저인 앤디 존슨(Andy Johnson)은 “Chemraz® 663은 반도체 시장에서 가장 낮은 온도를 수용할 수 있는 FFKM으로 설계되었다”며 “탁월한 저온 수용능력을 갖춘 고성능 플라즈마 소재를 찾고 있다면 Chemraz® 663이 이상적인 선택안”이라고 설명했다.